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真空室工作压力

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-04 18:37:36 * 浏览: 0
真空室正常工作所需的工作压力由以下公式确定:其余符号与公式(9-1)相同。真空室的工作压力通常高于其极限真空。选择的工作压力越接近极限真空,真空泵设备的经济效率就越低。从经济角度考虑,最好在主泵的z *大抽速或z *大排量附近选择工作压力。通常,将工作压力选择为比极限压力高一半到一个数量级。有关各种真空泵的工作压力范围,请参见表9-2。有关工业真空泵的最佳工作范围,请参见表9-3。表9-2各种真空泵的工作压力范围