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弹道钛合金泵和超低温低温泵,真空度极高

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-04 18:37:35 * 浏览: 0
弹道钛合金泵对惰性气体具有一定的泵速,但是由于存在热线,极限压力在10-9Pa的范围内,并且不易将泵速设置得非常大。它们通常被升华泵和溅射离子泵所取代。低温低温泵可以通过增加冷冻吸附表面来获得较大的泵送速度,这几乎是获得极高真空的必不可少的泵送方式。由于它在真空系统中不使用油性工作流体,因此很干净。泵充满空气后,可以通过定期再生来恢复泵的能力。